Beschichtung von metallischen Membranen mittels Pulsed Laser Deposition

Abstract Der Funktionalisierung von meso- und nanoporösen Werkstoffen durch Beschichtungen kommt zunehmend größere Bedeutung zu. So kann z.B. deren Porenoberfläche hinsichtlich der Biokompatibilität oder dem katalytischen Verhalten modifiziert werden. Derzeit sind dafür vor allem CVD-Verfahren im Einsatz. Die vorliegende Arbeit zeigt jedoch am Beispiel der Pulslaserbeschichtung (PLD)– einem PVD-Verfahren —, dass nanoporöse Membranen auf Ni3Al-Basis und Porendimensionen von etwa 200 nm mit hoher Schichtdicken-Homogenität und Schichthaftung von diamantähnlichen Kohlenstoffschichten bei geringen Membrandicken beschichtet werden können.