Hybridelektronik und Strukturierung

Umwelt-, Bioanalytische und Diagnostische Sensorik kombiniert mit smarten mikrofluidischen Lab-on-a-chip und organ-on-a-chip-Systemen

R2R-UV-NIL Pilotlinie zur kontinuierlichen und kostengünstigen Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen auf flexiblen großflächigen Foliensubstraten

Druckbare Sensortinten und Sensoren mit piezo-, pyro- und magneto-elektrischen Eigenschaften

Wiederverwendbare Materialien, Komponenten bzw. Verbundstoffen und deren Anwendungen, wie z.B. selbst entwickelte Lacke für die UV-Imprint-Lithografie (NILcure®)

Hochauflösende 3D-Strukturierung mittels Zwei-Photonen-Lithographie sowie stufenlose 2.5D-Strukturierung mittels maskenloser Graustufen-Laserlithographie oder Laserablation und Elektronenstrahllithographie

Skalierbare und digitale Druckverfahren (inkl. 3D-Druck von Elektronik) zur Generativen Fertigung funktionaler Komponenten

Replikation von Master-Strukturen nahezu nahtlos auf großer Fläche (bis zu 380 x 700 mm²) mittels Step&Repeat UV-NIL-Prozess

Messungen und Analyse von kleinsten Strukturen, Schichten und Bauelementen im Mikro- und Nanometermaßstab