Die hochpräzise maskenlose Laseranlage (MALA) ist für die Herstellung von hochkomplexen und stufenlosen Mikrooptik-Strukturen geeignet.
MALA Anlage, Foto: JOANNEUM RESEARCH/Schwarzl
Was ist die Laseranlage MALA?
Die einzigartige, hochpräzise Laseranlage MALA wurde an unserem Institut MATERIALS konzipiert und gebaut. Hier werden in einem speziell adaptierten Laserlabor in klimatisierter und vorgereinigter Luft Mikrooptik- Strukturen hergestellt.
MALA steht für „Maskenlose Laserlithografie“, eine Technologie, die gegenüber der klassischen maskenbasierten Fotolithografie viele Vorteile bietet. Mit MALA können Sie sub-mikrometer Strukturen auf planaren und gekrümmten Flächen zu niedrigen Kosten und mit einem hohen Durchsatz herstellen.
Der größte Vorteil von MALA ist die Flexibilität bei Designänderungen. In der Erprobungsphase einer Strukturierung sind Änderungen unumgänglich. Mit MALA können Sie diese Änderungen kosteneffizient und schnell durchführen.
Messungen und Analysen von kleinsten Strukturen, Schichten und Bauelementen im Mikro- und Nanomaßstab auf flexiblen Substraten.
Wir setzen einen speziell modifizierten EVG770 Nanoimprint Lithography (NIL) Stepper zur großflächigen Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen in UV-Prägelacken ein. Zusammen mit speziellen Materialien und Prozessen erreichen wir dabei höchste Präzision bis zu praktisch nahtlosen Übergängen zwischen einzelnen Strukturen.
Zertifizierter Reinraum der Klasse 6 für Nanostrukturen und neuartige elektronische Bauelemente und Sensoren
Microassembly Lab für photonische und elektronische Baugruppen
Das Labor umfasst flexible, schnelle Prototyping-Verfahren zur Herstellung einer Vielzahl von Strukturen in einer breiten Palette von Materialien.
Wir bieten Lasermaterialbearbeitung und langjährige Expertise in Werkstoffkunde.
Modernste Entwicklungsinfrastruktur für ganzheitliches elektronisches und optisches Design inkl. EMV und ESD – offen für Industriepartner.
Unsere Rolle-zu-Rolle Nanoimprint-Lithografie ermöglicht eine kontinuierliche und daher kostengünstige Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen auf großflächigen Foliensubstraten für Anwendungen in Hochtechnologiebereichen wie Elektronik, Optoelektronik, Photovoltaik, Sensorik, Mikrofluidik, Folienveredelung und Verpackung, sowie Pharmazeutik und Biowissenschaften.
Aktuellste Infrastruktur zur Lichtmessung und Prototypenfertigung für ganzheitliches optisches und elektronisches Design – offen für Industriepartner.
Unser Labor umfasst Technologien für funktionelle Plasmabeschichtung bei niedrigen Temperaturen von Atmosphärendruck bis Fein- und Hochvakuum.
Drucktechnologien für die Entwicklung von kundenspezifischen 2D-, 2,5D- und 3D-Druckprozessen
Die JOANNEUM RESEARCH ist Innovations- und Technologieanbieter im Bereich der angewandten Forschung. Als Forschungsgesellschaft der Länder und Regionen prägen wir mit unseren Forschungskompetenzen die Entwicklung unserer modernen Gesellschaft und Wirtschaft nachhaltig und menschenzentriert. Als multidisziplinäres Team in flexiblen, innovationsfreundlichen Strukturen leben wir höchste gesellschaftliche und wissenschaftliche Ansprüche.