Replikation von Master-Strukturen nahezu nahtlos auf großer Fläche (bis zu 380 x 700 mm²) mittels Step&Repeat UV-NIL-Prozess
Step and Repeat-Anlage Foto: JOANNEUM RESEARCH/Stadler
Mittels Step&Repeat UV-NIL-Prozess replizieren wir kleine Master-Strukturen nahezu nahtlos auf großer Fläche (bis zu 380 x 700 mm²). Wir verwenden diesen Prozess für kundenspezifische Replikationen von Mikro- und Nanostrukturen oder auch zur Produktion von Stempeln für unsere R2R-Pilotanlage.
Wir bieten unseren Kunden und Partnern Forschungs-Pilotlinien zur Entwicklung und Implementierung neuer Produktideen und Herstellungsprozesse, von der Idee bis hin zum Prototypen. Die Pilotlinie für rollenbasierte Mikro- und Nanostrukturierung am Institut MATERIALS umfasst Simulation, Design und Materialentwicklung (Beschichtungen, Prägelacke) und bietet großflächige Strukturierung und Struktur-Replikation vom Mastering bis hin zur Hochdurchsatz-Fertigung. Der EVG770 NILStepper komplettiert diese Pilotlinie im Hinblick auf die Herstellung von flexiblen Arbeitsstempeln für rollenbasierte Prozesse.
Die Nanoimprint-Lithographie ist – verglichen mit anderen lithographischen Verfahren – eine kostengünstige Strukturierungstechnologie und ideal für den Einsatz in hochvolumigen Herstellungsprozessen geeignet. Der mit der Produktion von Arbeitsstempeln für industrietaugliches, rollenbasiertes Prägen verbundene Zeit- und Kostenaufwand ist immer noch signifikant. Die Entwicklung der Step+Repeat-Technologie für großflächige Foliensubstrate macht für uns den Lückenschluss zwischen kleinformatigen Mastern und großflächigen Arbeitsstempeln möglich.
Dies bringt unter anderem eine signifikant höhere Prozessflexibilität und eine weitere Reduktion der Prozesskosten im Bereich der Nanoimprint-Technologie. Die Adaptierung der EVG770-Anlage gemeinsam mit EV Group umfasste vor allem eine Erweiterung der Probenaufnahme von Wafer-Geometrien auf großflächige Foliensubstrate.
Unter Verwendung einer auf UV-Prägen basierenden Step+Repeat-Technologie entstehen flexible, polymerbasierte Arbeitsstempel für den Einsatz in Rolle-zu-Rolle-Prägeprozessen. Der Ansatz kombiniert die sehr hohe Positioniergenauigkeit der Halbleitertechnologie mit folienbasierten Hochdurchsatz-Methoden und ermöglicht eine kostengünstige und industrietaugliche Alternative zur direkten Verwendung herkömmlicher zeitaufwendiger Nanostrukturierungsverfahren.
Umwelt-, Bioanalytische und Diagnostische Sensorik kombiniert mit smarten mikrofluidischen Lab-on-a-chip und organ-on-a-chip-Systemen
Kostengünstige Lösungen über eine Funktionserweiterung klassischer LED-basierter Beleuchtungssysteme im Bereich Visible Light Communication, des Visible Light Positioning, und des Visible Light Sensing
R2R-UV-NIL Pilotlinie zur kontinuierlichen und kostengünstigen Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen auf flexiblen großflächigen Foliensubstraten
Messungen und Analyse von kleinsten Strukturen, Schichten und Bauelementen im Mikro- und Nanometermaßstab
Technologie zur Verlängerung der Topfzeit von Silikonen auf mehrere Monate, ohne die Materialeigenschaften zu verändern
Gesamtlösungen von der optischen Simulation, Mastering und dem Prototyping bis zur Überführung in die großflächige, kosteneffiziente Fertigung optischer Strukturen und Komponenten
Wiederverwendbare Materialien, Komponenten bzw. Verbundstoffen und deren Anwendungen, wie z.B. selbst entwickelte Lacke für die UV-Imprint-Lithografie (NILcure®)
Druckbare Sensortinten und Sensoren mit piezo-, pyro- und magneto-elektrischen Eigenschaften
Additive Fertigung durch neu verfügbare Konstruktions- und Simulationswerkzeuge sowie durch neue Materialien und Realisierung spezieller Gitterstrukturen
Laserprozesse und Systemaufbauten zur Herstellung von dreidimensionalen Strukturen mit hoher Auflösung im Mikrometerbereich
Funktionelle Beschichtungsverfahren: Plasma- und Vakuumbeschichtung (PVD, PA-CVD), Atmosphärendruck-Plasmajetverfahren sowie auch digitale Druckverfahren
Die JOANNEUM RESEARCH ist Innovations- und Technologieanbieter im Bereich der angewandten Forschung. Als Forschungsgesellschaft der Länder und Regionen prägen wir mit unseren Forschungskompetenzen die Entwicklung unserer modernen Gesellschaft und Wirtschaft nachhaltig und menschenzentriert. Als multidisziplinäres Team in flexiblen, innovationsfreundlichen Strukturen leben wir höchste gesellschaftliche und wissenschaftliche Ansprüche.