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Influences of the nitrogen content on the morphological, chemical and optical properties of pulsed laser deposited silicon nitride thin films

Beteiligte Autoren der JOANNEUM RESEARCH:

DI Dr. Jürgen Lackner; DI Dr. Wolfgang Waldhauser; DI Dr. Georg Jakopic

Autor*innen:

Lackner, Juergen M; Waldhauser, W.; Berghauser, R.; Ebner, R.; Beutl, M.; Jakopic, G.; Leising, Guenther; Hutter, H.; Rosner, M.; Schöberl, Thomas

Titel:

Influences of the nitrogen content on the morphological, chemical and optical properties of pulsed laser deposited silicon nitride thin films

Seiten:

225-230

Publikationsdatum

2005-03

Publikationsreihe

Nummer

192

Proceedings

Surface and Coatings Technology

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DOI-Url:

https://www.doi.org/ 10.1016/j.surfcoat.2004.04.080

Jahr/Monat:

2005

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