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Pulsed laser deposition of advanced titanium nitride thin layers

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Beteiligte Autoren der JOANNEUM RESEARCH:
DI Dr. Wolfgang Waldhauser; DI Dr. Jürgen Lackner
Autor*innen:
Major, B.; Mróz, Waldemar; Wierzchoń, T.; Waldhauser, W.; Lackner, Juergen M; Ebner, R.
Titel:
Pulsed laser deposition of advanced titanium nitride thin layers
Seiten:
580-584
Publikationsdatum
2004-03

Publikationsreihe

Nummer
180
Proceedings
Surface & Coatings Technology - SURF COAT TECH
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DOI-Url:
https://www.doi.org/ 10.1016/j.surfcoat.2003.10.154
Jahr/Monat:
2004
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