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Pulsed laser deposition of silicon containing carbon thin films

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Beteiligte Autoren der JOANNEUM RESEARCH:
DI Dr. Wolfgang Waldhauser; DI Dr. Jürgen Lackner; DI Dr. Georg Jakopic; DI Alexander Fian
Autor*innen:
Lackner, Juergen M; Waldhauser, W.; Ebner, R.; Fian, Alexander; Jakopic, G.; Leising, Guenther; Schöberl, Thomas
Titel:
Pulsed laser deposition of silicon containing carbon thin films
Seiten:
360-364
Publikationsdatum
2004-01

Publikationsreihe

Nummer
177
Proceedings
Surface and Coatings Technology
Weitere Dateien und links
DOI-Url:
https://www.doi.org/ 10.1016/j.surfcoat.2003.09.027
Jahr/Monat:
2004
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